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引起閥件故障的氣體種類

1.    B2H6 乙硼烷
2.    NH3 氨
3.    HBr 溴化氫
4.    CL2 氯
5.    N2O 一氧化氮
6.    HCL氯化氫
7.    F2 氟
8.    NF3 三氟化氮